特許
J-GLOBAL ID：200903071244134386
研磨パッドの製造方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
尾崎 雄三
, 梶崎 弘一
, 谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-088388
公開番号（公開出願番号）：特開2007-307700
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】 製造工程が少なく、生産性に優れる研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。また、製造工程が少なく、生産性に優れ、研磨層とクッション層との間で剥離することがない積層研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材を送り出しつつその上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、該気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨層を形成する工程、該研磨層を面に対して平行に2つに切断することにより、研磨層と面材からなる長尺研磨層を2枚同時に作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材を送り出しつつその上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、該気泡分散ウレタン組成物上に別の面材を積層する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨層を形成する工程、該研磨層を面に対して平行に2つに切断することにより、研磨層と面材からなる長尺研磨層を2枚同時に作製する工程、及び長尺研磨層を裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304
, B32B 37/00
B24B37/00 C
, H01L21/304 622F
, B32B31/18
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058CB03
, 3C058CB05
, 3C058DA17
, 4F100AK51C
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100DJ01C
, 4F100EA02A
, 4F100EA02B
, 4F100EJ082
, 4F100EJ313
, 4F100JK06
, 4F100JL00
