特許
J-GLOBAL ID：200903073875619376

ハードディスクメディア上のパターンの検査方法及び検査装置

発明者：
廣瀬 丈師

廣瀬 丈師 について

, 
渡辺 正浩

渡辺 正浩 について

, 
吉武 康裕

吉武 康裕 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-330482
公開番号（公開出願番号）：特開2009-150832
出願日： 2007年12月21日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】パターンドメディアの検査方法において、ナノインプリントのプロセス管理を目的とした場合には、パターンの正確な形状を計測する必要があり、製品の品質管理が目的の場合には、製品全数を検査する必要があるが、SEMやAFMを用いた方法では、これらの要求を満たすことができない。【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射するステップと、 前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出するステップと、 検出した反射光の強度から分光反射率を算出するステップと、 算出した分光反射率に基づいて前記ハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出するステップと、を含むことを特徴とするハードディスクメディアの検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24 ,  G01N 21/95 ,  G01N 21/27 ,  G01B 11/30
FI (4件)：
G01B11/24 A ,  G01N21/95 A ,  G01N21/27 B ,  G01B11/30 A
Fターム (75件)：
2F065AA24 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB18 ,  2F065CC03 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL67 ,  2F065PP03 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065RR06 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059FF08 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
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