特許
J-GLOBAL ID：200903073965031467

照明光学系、当該照明光学系を有する露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
篠田 健一郎

篠田 健一郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-121378
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318086
出願日： 2002年04月23日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】 パターンの変化に応じて所望の有効光源が得られると共に、それぞれの部分有効光源を相対的に変位させることができる照明光学系を提供する。【解決手段】 光源からの光束でレチクルを照明する照明光学系において、前記レチクルに対して実質的にフーリエ変換の関係となる面における光量分布のうち、第1の領域と、第1の領域と異なる第2の領域との光量又は面積の相対比を可変とする照明光生成手段を有することを特徴とする照明光学系を提供する。
請求項（抜粋）：
光源からの光束でレチクルを照明する照明光学系において、前記レチクルに対して実質的にフーリエ変換の関係となる面における光量分布のうち、第1の領域と、第1の領域と異なる第2の領域との光量又は面積の相対比を可変とする照明光生成手段を有することを特徴とする照明光学系。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 502
FI (2件)：
G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (8件)：
2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046CB10 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01
引用特許：
審査官引用 (9件)
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