特許
J-GLOBAL ID：200903074219012356
半導体受光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309851
公開番号（公開出願番号）：特開2001-127333
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 高速動作に適し、かつ製造容易な構造の半導体受光装置を提供する。【解決手段】 基板の主表面の一部の領域上に光検出部が形成されている。光検出部は、主表面に平行な受光層を含み、該受光層は半導体で形成され、受けた光に応じてキャリアを生成する。基板の主表面上に、主表面に平行な方向に光を導波させ、受光層に光を入射させる導波路が形成されている。半絶縁性の半導体部材が、光検出部の側面を覆う。一対の電極が、光検出部の受光層に、その厚さ方向に電流を流す。
請求項（抜粋）：
主表面を有する基板と、前記基板の主表面の一部の領域上に形成され、該主表面に平行な受光層を含み、該受光層は半導体で形成され、受けた光に応じてキャリアを生成する光検出部と、前記基板の主表面上に形成され、該主表面に平行な方向に光を導波させ、前記受光層に光を入射させる導波路と、前記光検出部の側面を覆う絶縁性または高抵抗の半導体部材と、前記光検出部の受光層に、その厚さ方向に電流を流すための電極とを有する半導体受光装置。
Fターム (20件)：
5F049MA02
, 5F049MA03
, 5F049MA04
, 5F049MB07
, 5F049MB12
, 5F049NA03
, 5F049NA15
, 5F049NA18
, 5F049NB01
, 5F049PA04
, 5F049PA14
, 5F049PA17
, 5F049QA08
, 5F049RA06
, 5F049SE05
, 5F049SS04
, 5F049SZ13
, 5F049TA03
, 5F049UA20
, 5F049WA01
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (12件)
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