積層一体焼成型の電気機械変換素子

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高橋祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-376241
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261343
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 Ag-Pd系電極と同等以上の電極特性を有し,かつ低コストの電極材料を用いた積層一体焼成型の電気機械変換素子,特に,内部電極層の剛性が低く,セラミック層の伸縮時に発生する内部応力が小さいものを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層11と,セラミック層11間に介在させた内部電極層21,22とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子1において,内部電極層21,22は剛性率が160GPa以下の卑金属を主成分とする。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックスあるいは電歪セラミックスよりなる複数層のセラミック層と,該セラミック層間に介在させた内部電極層とを一体的に焼成してなる積層体を有する積層一体焼成型の電気機械変換素子において,上記内部電極層は剛性率が160GPa以下の卑金属を主成分とすることを特徴とする積層一体焼成型の電気機械変換素子。

IPC (6件)：

H01L 41/083 , C04B 35/49 , F02M 51/00 , H01L 41/09 , H01L 41/107 , H01L 41/187

FI (6件)：

C04B 35/49 A , F02M 51/00 E , H01L 41/08 Q , H01L 41/18 101 D , H01L 41/08 U , H01L 41/08 A

Fターム (32件)：

3G066AA07 , 3G066AB02 , 3G066AC09 , 3G066AD12 , 3G066BA19 , 3G066BA46 , 3G066BA61 , 3G066CC06T , 3G066CC14 , 3G066CC64U , 3G066CC66 , 3G066CC67 , 3G066CC68T , 3G066CC68U , 3G066CC69 , 3G066CC70 , 3G066CD15 , 3G066CD17 , 3G066CD18 , 3G066CD28 , 3G066CD30 , 3G066CE13 , 3G066CE27 , 3G066CE31 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA17 , 4G031AA18 , 4G031AA32 , 4G031AA39 , 4G031BA10 , 4G031CA03

引用特許：

審査官引用 (10件)

多層圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-286118 出願人：株式会社住友金属エレクトロデバイス
特開平4-324687
積層型電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-230586 出願人：株式会社村田製作所

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