表示装置用配線、該配線を有する薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-302481
公開番号（公開出願番号）：特開2006-163367
出願日： 2005年10月18日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】配線の低抵抗特性及び信頼性を同時に確保する。【解決手段】導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する表示装置用配線と、基板110、該基板110上に形成されているゲート線、ゲート線上に形成されているゲート絶縁膜140、ゲート絶縁膜140上に形成されているソース電極173を含むデータ線171及びソース電極173と対向しているドレイン電極175、及びドレイン電極175と接続されている画素電極190を有している。ゲート線とデータ線171及びドレイン電極175の少なくとも一方とは、導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する。これにより、配線の密着性が向上するので剥離を防止することができ、信頼性が向上する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

150°C以下の温度で形成された導電性酸化物を含有する第1導電層、及び前記第1導電層に隣接するように形成された銀(Ag)を含有する第2導電層を有することを特徴とする表示装置用配線。

IPC (11件)：

G02F 1/134 , H01L 23/52 , H01L 21/320 , H01L 29/786 , H01L 21/28 , G02F 1/136 , C23C 14/06 , H05B 33/06 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , H05B 33/26

FI (14件)：

G02F1/1343 , H01L21/88 R , H01L29/78 612C , H01L29/78 616V , H01L29/78 616U , H01L29/78 617M , H01L29/78 617L , H01L21/28 301R , G02F1/1368 , C23C14/06 N , H05B33/06 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/26 Z

Fターム (127件)：

2H092GA25 , 2H092GA34 , 2H092HA04 , 2H092HA06 , 2H092HA12 , 2H092HA19 , 2H092JA24 , 2H092JA40 , 2H092JA44 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KB04 , 2H092MA05 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092NA18 , 2H092NA28 , 3K007AB06 , 3K007AB15 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CB04 , 3K007CC00 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 3K007FA03 , 4K029BA04 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BC03 , 4K029BD02 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC05 , 4K029DC16 , 4K029EA01 , 4K029EA08 , 4M104AA09 , 4M104BB08 , 4M104BB19 , 4M104BB36 , 4M104BB37 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD37 , 4M104DD42 , 4M104DD65 , 4M104FF18 , 4M104GG08 , 4M104GG09 , 4M104HH08 , 4M104HH09 , 5F033HH14 , 5F033HH32 , 5F033HH38 , 5F033JJ38 , 5F033KK14 , 5F033KK25 , 5F033KK32 , 5F033KK38 , 5F033LL06 , 5F033MM08 , 5F033MM13 , 5F033MM21 , 5F033PP15 , 5F033PP16 , 5F033QQ00 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033RR01 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR11 , 5F033SS15 , 5F033TT02 , 5F033VV04 , 5F033VV06 , 5F033VV10 , 5F033VV15 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033XX13 , 5F033XX14 , 5F033XX20 , 5F110AA03 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE06 , 5F110EE07 , 5F110EE15 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF27 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG35 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK05 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK33 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110HM03 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN73 , 5F110QQ05 , 5F110QQ09

引用特許：

審査官引用 (12件)

多層導電膜のエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-236167 出願人：凸版印刷株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-072890 出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ
アクティブマトリクス基板およびその製造方法並びに該基板を用いた表示装置および撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-321713 出願人：シャープ株式会社

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