特許
J-GLOBAL ID：200903074843214770

表示装置用配線、該配線を有する薄膜トランジスタ表示板及びその製造方法

発明者：
朴 弘 植

朴 弘 植 について


出願人/特許権者：
サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド

サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-302481
公開番号（公開出願番号）：特開2006-163367
出願日： 2005年10月18日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】配線の低抵抗特性及び信頼性を同時に確保する。【解決手段】導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する表示装置用配線と、基板110、該基板110上に形成されているゲート線、ゲート線上に形成されているゲート絶縁膜140、ゲート絶縁膜140上に形成されているソース電極173を含むデータ線171及びソース電極173と対向しているドレイン電極175、及びドレイン電極175と接続されている画素電極190を有している。ゲート線とデータ線171及びドレイン電極175の少なくとも一方とは、導電性酸化物を含有する第1導電層及び銀を含有する第2導電層を有する。これにより、配線の密着性が向上するので剥離を防止することができ、信頼性が向上する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
150°C以下の温度で形成された導電性酸化物を含有する第1導電層、及び前記第1導電層に隣接するように形成された銀(Ag)を含有する第2導電層を有することを特徴とする表示装置用配線。
IPC (11件)：
G02F 1/134 ,  H01L 23/52 ,  H01L 21/320 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/28 ,  G02F 1/136 ,  C23C 14/06 ,  H05B 33/06 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/26
FI (14件)：
G02F1/1343 ,  H01L21/88 R ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 617L ,  H01L21/28 301R ,  G02F1/1368 ,  C23C14/06 N ,  H05B33/06 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 Z
Fターム (127件)：
2H092GA25 ,  2H092GA34 ,  2H092HA04 ,  2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092HA19 ,  2H092JA24 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  3K007AB06 ,  3K007AB15 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CB04 ,  3K007CC00 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  3K007FA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB08 ,  4M104BB19 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD37 ,  4M104DD42 ,  4M104DD65 ,  4M104FF18 ,  4M104GG08 ,  4M104GG09 ,  4M104HH08 ,  4M104HH09 ,  5F033HH14 ,  5F033HH32 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK14 ,  5F033KK25 ,  5F033KK32 ,  5F033KK38 ,  5F033LL06 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033MM21 ,  5F033PP15 ,  5F033PP16 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR11 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033VV04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033WW03 ,  5F033XX13 ,  5F033XX14 ,  5F033XX20 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG35 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK05 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM03 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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