感放射線性樹脂組成物およびメッキ造形物の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-336055
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145853
出願日： 2004年11月19日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：

【課題】広い波長領域の活性放射線に対して優れた感度を示し、解像度などに優れた感放射線性樹脂組成物、ならびに該組成物を用いてバンプまたは配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができるメッキ造形物の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る感放射線性樹脂組成物は、(A)特定のアントラセン構造を有する化合物0.1〜20重量部、(B)放射線の照射により酸を発生する化合物0.1〜20重量部、および(C)樹脂100重量部を含有し、波長300〜450nmの放射線に感度を有することを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表される構造を有する化合物0.1〜20重量部、 (B)放射線の照射により酸を発生する化合物0.1〜20重量部、および (C)樹脂100重量部を含有し、波長300〜450nmの放射線に感度を有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , G03F 7/20 , H05K 3/18

FI (5件)：

G03F7/004 501 , G03F7/004 503Z , G03F7/039 601 , G03F7/20 501 , H05K3/18 D

Fターム (42件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA17 , 2H025AB11 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CA41 , 2H025CB10 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CC13 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA35 , 2H025FA39 , 2H025FA43 , 2H025FA48 , 2H097FA02 , 2H097LA09 , 5E343AA22 , 5E343BB24 , 5E343BB38 , 5E343BB71 , 5E343CC62 , 5E343DD43 , 5E343DD56 , 5E343DD76 , 5E343EE36 , 5E343ER12 , 5E343ER18 , 5E343ER26 , 5E343GG08

引用特許：

出願人引用 (2件)

遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-005664 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭59-45439号公報

審査官引用 (12件)

感光性組成物
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-520188 出願人：アトーテヒドイッチュラントゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
化学増幅型感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-046672 出願人：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物およびメッキ造形物の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-090853 出願人：ジェイエスアール株式会社

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