特許
J-GLOBAL ID：200903076986406273
レチクルマスキングブレードシステムおよびレチクルマスキングブレードの制御方法およびレチクルマスキングブレードの浮上装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-164967
公開番号（公開出願番号）：特開2004-363606
出願日： 2004年06月02日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】高度な真空環境におけるREMAブレードのガイドされる動きをサポートすることができるREMAブレードステージ機構であって、複数の動きの自由度もサポートできるもの。【解決手段】REMAブレードを含んでいるREMAブレードシステムと、REMAブレードキャリジアセンブリと、電磁力アクチュエータのセットと、電磁力リニアモータと、センサのセットと、サーヴォ機構とを有している。【選択図】図15
請求項（抜粋）：
レチクルマスキングブレードシステムにおいて、
レチクルマスキングブレードと、レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリと、電磁力アクチュエータセットと、プレーナローレンツ力モータと、センサセットと、サーボ機構コントローラとを有しており、
前記レチクルマスキングブレードは、ほぼリニアな第1のマスキングエッジと、ほぼリニアな第2のマスキングエッジとを有するようにし、前記ほぼリニアな第1のマスキングエッジと、前記ほぼリニアな第2のマスキングエッジとはほぼ直角をなすようにし、
前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリは、前記レチクルマスキングブレードに結合されており、
前記電磁力アクチュエータセットは、リファレンスフレームに対して各位置範囲内の所定位置及び前記リファレンスフレームに対して所定配向で、前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリを浮上することができ、前記電磁力アクチュエータセットの各電磁力アクチュエータは、前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリに結合された第1のコンポーネントと、リアクションフレームに結合された第2のコンポーネントとを有しており、
前記プレーナローレンツ力モータは、前記リファレンスフレームに対する前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリを動かし、前記プレーナローレンツ力モータは、前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリに結合された第3のコンポーネントと、前記リアクションフレームに結合された第4のコンポーネントとを有しており、前記リファレンスフレームは、前記動きの2次元範囲を定義し、
前記センサセットは、前記位置及び前記配向を測定することができ、前記センサセットの各センサは、前記レチクルマスキングブレードキャリッジアセンブリに結合された第5のコンポーネントと、前記リファレンスフレームに結合された第6のコンポーネントとを有しており、前記第5のコンポーネントと前記第6のコンポーネントとの相互作用は、物理的接触よりも寧ろエネルギ場を介しており、
前記サーボ機構コントローラは、6自由度の動きで前記位置及び前記配向を制御することができ、前記2次元範囲内で前記動きを制御することができ、
前記第5のコンポーネントと前記第6のコンポーネントの少なくとも1つは、前記サーボ機構コントローラに送信する第1の信号を形成することができ、
前記第1のコンポーネントと前記第2のコンポーネントの少なくとも1つは、前記サーボ機構コントローラからの第2の信号を受信することができる第1のコイルを有しており、
前記第3のコンポーネントと前記第4のコンポーネントの少なくとも1つは、前記サーボ機構コントローラからの第3の信号を受信することができる第2のコイルを有している
ことを特徴とするレチクルマスキングブレードシステム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 503A
, G03F7/20 521
, H01L21/30 531A
5F046CB05
, 5F046CC02
, 5F046CC13
, 5F046GA03
, 5F046GA12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (10件)
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