特許
J-GLOBAL ID：200903077980895945

複数の論理回路に対する故障診断方法

発明者：
二階堂 正人

二階堂 正人 について

, 
鵜飼 友視

鵜飼 友視 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 工藤 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-300044
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116332
出願日： 2006年11月06日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：
【課題】複数の論理回路に対して共通的な故障を抽出し、結果を表示する。外観検査で得た物理欠陥と論理診断で得た故障欠陥とを一致判定の距離パラメータを使用せずに正確に照合する。【解決手段】論理回路のテスト結果から取得されたフェイル情報に基づき論理回路の故障箇所を推定する。入力処理ステップとデータ抽出処理ステップと診断処理ステップと出力処理ステップとを備えた構成であり、入力処理ステップでは、故障診断ツールで得られる論理回路ごとの故障候補データについて、複数個の論理回路の故障候補データが入力され、データ抽出処理ステップでは、各論理回路の故障候補データから、故障候補データ内の項目が抽出され、出力処理ステップでは、診断処理で集計した結果が出力される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
(a)複数の論理回路について故障診断ツールで得られた故障候補データに基づき、前記複数の論理回路のそれぞれの故障箇所を推定することと、 (b)前記複数の論理回路のそれぞれの前記故障候補データが取得される入力処理ステップと、 (c)前記複数の論理回路のそれぞれの前記故障候補データから所定のデータが抽出されるデータ抽出処理ステップと、 (d)前記抽出された所定のデータから故障候補データ名および故障候補データ数が集計される診断処理ステップと、 (f)前記ステップ(d)で集計された結果が出力される出力処理ステップと を具備する 論理回路故障診断方法。
IPC (2件)：
G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R31/28 F ,  H01L21/66 A ,  H01L21/66 Z
Fターム (8件)：
2G132AA01 ,  2G132AB01 ,  2G132AC10 ,  2G132AL12 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA16 ,  4M106DA15
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (12件)
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