特許
J-GLOBAL ID:200903079304119439
搬送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 敬四郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-076699
公開番号(公開出願番号):特開2000-264405
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】 処理装置を含む搬送装置全体のクリーン度の管理を容易に行うことが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】 ストッカ内の空間を気体が循環する。ストッカに複数の処理装置が連結されている。ストッカ内に、処理対象物を保管する複数の保管用格納場所、処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる複数の受渡用格納場所が確保されている。ストッカの内部空間内に配置された移送手段が、ある格納場所から他の格納場所へ処理対象物を移送する。処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す。
請求項(抜粋):
気体が循環する空間を画定するストッカと、前記ストッカに連結し、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置とを有し、前記ストッカ内に、処理対象物を保管する複数の保管用格納場所、前記処理装置の各々に対応して設置され対応する処理装置に対して処理対象物の受け渡しを行うことができる複数の受渡用格納場所が確保され、該ストッカが、その内部空間内に、前記保管用格納場所から他の保管用格納場所もしくは受渡用格納場所へ、または前記受渡用格納場所から他の受渡用格納場所もしくは保管用格納場所へ処理対象物を移送する移送手段を有し、前記処理装置の各々が、対応する受渡用格納場所に格納されている処理対象物を受け取り、受け取った処理対象物に対して処理を行い、処理後の処理対象物を対応する受渡用格納場所に戻す搬送装置。
IPC (4件):
B65G 1/00 501
, B65G 1/00 521
, B65G 1/00 535
, H01L 21/68
FI (4件):
B65G 1/00 501 A
, B65G 1/00 521 D
, B65G 1/00 535
, H01L 21/68 A
Fターム (26件):
3F022AA08
, 3F022BB09
, 3F022CC02
, 3F022EE05
, 3F022FF01
, 3F022HH02
, 3F022JJ09
, 3F022KK20
, 3F022LL07
, 3F022LL31
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA17
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA43
, 5F031GA58
, 5F031MA09
, 5F031MA23
, 5F031MA27
, 5F031MA28
, 5F031MA32
, 5F031NA02
, 5F031NA08
, 5F031NA09
, 5F031PA03
引用特許:
審査官引用 (14件)
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基板自動供給回収装置及び半導体製造装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-276118
出願人:富士通株式会社
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カセットの搬送方法および該方法に用いる自動倉庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-289619
出願人:株式会社アドバンスト・ディスプレイ
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半導体製造設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-177347
出願人:国際電気株式会社
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処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-339529
出願人:東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
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基板仕分け装置を備えた荷保管設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-076994
出願人:株式会社ダイフク
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クリーン装置付き収納設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-052922
出願人:日本無機株式会社
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クリーン倉庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-110788
出願人:村田機械株式会社
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荷保管装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-103399
出願人:株式会社豊田自動織機製作所
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クリーン倉庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-110790
出願人:村田機械株式会社
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基板処理システムおよび基板処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-063360
出願人:大日本スクリーン製造株式会社
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クリーンルーム用保管庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-012311
出願人:神鋼電機株式会社
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クリーンルーム用保管庫
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-008663
出願人:神鋼電機株式会社
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物品の供給方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-102919
出願人:松下電工株式会社
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特開昭62-136402
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