特許
J-GLOBAL ID：200903080381212199

ウェハ研磨装置

発明者：
稲葉 高男

稲葉 高男 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082992
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274122
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：
【要約】【課題】 研磨布の面にならった調整が行え、ドレス状態を一定に行えるドレッサーを備えたウェハ研磨装置を提供する。【解決手段】 本発明のウェハ研磨装置のドレッサー44は、砥石ヘッド444をドレッサー本体441に対して上下方向移動自在に遊嵌支持していると共に、ドレッサー本体と砥石ヘッドとの間にはエアバッグ449が設けられている。研磨布に対する砥石ヘッドの押圧力が調整できるようにエアバッグ内のエア圧を調節することができる。プラテン41に隣接してドレッサーの砥石ヘッドを洗浄する洗浄槽46が配置され、その底部にブラシ462が植毛されたブラシ台463が着脱自在に取り付けられる。
請求項（抜粋）：
ウェハの研磨が行われるプラテンの表面に設けられた研磨布の状態を調整するドレッサーを備えたウェハ研磨装置において、前記ドレッサーが、ドレッサー本体内に上下方向移動自在に遊嵌支持された砥石ヘッドと、前記ドレッサー本体と砥石ヘッドとの間に介在し、砥石ヘッドを前記研磨布に押圧する押圧力を調整可能な押圧手段とを有することを特徴とするウェハ研磨装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 53/00 ,  B24B 53/007 ,  B24B 53/02
FI (6件)：
H01L 21/304 622 M ,  B24B 37/00 A ,  B24B 37/00 B ,  B24B 53/00 J ,  B24B 53/007 ,  B24B 53/02
Fターム (10件)：
3C047AA34 ,  3C047BB16 ,  3C047EE11 ,  3C047FF08 ,  3C058AA19 ,  3C058AC01 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許：
審査官引用 (8件)
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