特許
J-GLOBAL ID：200903080420815998

感光材固定装置およびレーザビーム露光装置

発明者：
清水 修一

清水 修一 について


出願人/特許権者：
旭光学工業株式会社

旭光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-186675
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006511
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：
【要約】【課題】 ムラのない描画結果が得られる任意の向きに、感光材を載置、固定することができる感光材固定装置および、ムラが発生せず常に精度の高い描画をすることができるレーザビーム露光装置を提供すること。【解決手段】 感光材固定装置は、レーザビーム露光装置において、感光材を固定する感光材固定装置であって、1辺の長さが少なくとも感光材の長辺よりも長く、感光材を主走査方向と直交する方向に長手方向が沿う第1の状態で表面に載置できるとともに、感光材を主走査方向と平行な方向に長手方向が沿う第2の状態で表面に載置できる描画テーブルと、感光材を第1の状態で固定する第1の固定手段と、感光材を第2の状態で固定する第2の固定手段とを有する構成にした。
請求項（抜粋）：
レーザビーム露光装置において、感光材を固定する感光材固定装置であって、1辺の長さが少なくとも感光材の長辺よりも長く、前記感光材を主走査方向と直交する方向に長手方向が沿う第1の状態で表面に載置できるとともに、前記感光材を主走査方向と平行な方向に長手方向が沿う第2の状態で表面に載置できる描画テーブルと、前記感光材を前記第1の状態で固定する第1の固定手段と、前記感光材を前記第2の状態で固定する第2の固定手段と、を有することを特徴とする感光材固定装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 529
Fターム (16件)：
2H097AA03 ,  2H097CA17 ,  2H097KA28 ,  2H097KA35 ,  2H097LA20 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC06 ,  5F046CC08 ,  5F046DA01 ,  5F046DA07 ,  5F046DB04 ,  5F046DC11 ,  5F046DD06
引用特許：
審査官引用 (14件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM