特許
J-GLOBAL ID：200903081259987178
電気化学分析用電極の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-318712
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083993
出願日： 2003年09月10日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 本発明は、所望の開口面積を有し、貫通孔に残余物が存在せず、非常に小型な電気化学分析用電極を正確に且つ容易に製造しうる方法を提供する。【解決手段】 導電層の一面に、幅が0.1〜100μmの多数の貫通孔(断面形状が、直径0.1〜100μmの円形、貫通孔短径0.1〜100μmの楕円形又は1辺0.1〜100μmの多角形である。)がフォトリソグラフィー法により形成されている絶縁層が積層されてなる電気化学分析用電極の製造方法において、該貫通孔をコロナ放電処理、グロー放電プラズマ処理等の放電処理を大気圧近傍の圧力下で行うことを特徴とする電気化学分析用電極の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電層の一面に、幅が0.1〜100μmの貫通孔が多数形成されている絶縁層が積層
されてなる電気化学分析用電極の製造方法において、該貫通孔を放電処理することを特徴
とする電気化学分析用電極の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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USP6110354号公報
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電気化学的検出用電極の製造方法
公報種別：公表公報
出願番号：特願平8-502915
出願人：エンバイランメンタル・センサーズ・リミテッド
審査官引用 (9件)
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