特許
J-GLOBAL ID:200903081623458488
光活性化合物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
江崎 光史
, 奥村 義道
, 鍛冶澤 實
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-520978
公開番号(公開出願番号):特表2009-501207
出願日: 2006年07月07日
公開日(公表日): 2009年01月15日
要約:
本出願は式A-X-Bの化合物に関し、ここで、(i)A-X-Bはイオン性化合物Ai Xi Biを形成し、AiおよびBiはそれぞれ個別に有機オニウムカチオンであり、Xiは式Q-R500-SO3-のアニオンであるか、または(ii)A-X-Bは非イオン性化合物Ac-Xc-Bcを形成し、Ai、Bi、Q、R500、Ac、Bc、およびXcについては本明細書で定義される。この化合物は光活性物質として有用である。
請求項(抜粋):
式、
A-X-B
の化合物であって、
(i)ここで、A-X-Bはイオン性化合物Ai Xi Biを形成し、
ここで、AiおよびBiはそれぞれ個別に有機オニウムカチオンであり、
Xiは式、
Q-R500-SO3-
のアニオンであり、
ここで、Qは-O3Sおよび-O2Cから選択され、
R500は、直鎖または分枝鎖アルキル、シクロアルキル、アリール、またはそれらの組み合わせから選択される基であり、これらは異種原子として(catenary)SまたはNを含有するかまたは含有せず、前記のアルキル、シクロアルキル、およびアリール基は非置換であるか、またはハロゲン、非置換のまたは置換されたアルキル、非置換のまたは置換されたC1〜8ペルフルオロアルキル、ヒドロキシル、シアノ、スルフェート、およびニトロからなる群から選択される1つ以上の基で置換され、
前記有機オニウムカチオンは
IPC (9件):
C07C 25/00
, G03F 7/004
, G03F 7/039
, H01L 21/027
, C07C 381/12
, C07C 43/225
, C07C 309/06
, C07C 309/05
, C07D 333/46
FI (9件):
C07C25/00
, G03F7/004 503A
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
, C07C381/12
, C07C43/225 C
, C07C309/06
, C07C309/05
, C07D333/46
Fターム (17件):
2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BF02
, 2H025BG00
, 2H025CC04
, 2H025DA34
, 2H025FA17
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB92
, 4H006EA21
, 4H006GP03
, 4H006GP22
, 4H006TN10
引用特許:
出願人引用 (27件)
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米国特許第4,491,628号明細書
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国際公開第97/33,198号パンフレット
-
EP789,278号明細書
-
GB2,332,679号明細書
-
米国特許第6,610,465号明細書
-
米国特許第6,120,977号明細書
-
米国特許第6,136,504号明細書
-
米国特許第6,013,416号明細書
-
米国特許第5,985,522号明細書
-
米国特許第5,693,453号明細書
-
国際公開第00/25178号パンフレット
-
米国特許第5,350,660号明細書
-
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-315265
出願人:住友化学工業株式会社
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化学増幅型ポジ型レジスト組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-238542
出願人:住友化学工業株式会社
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JP 09-73173号公報
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米国特許第6,686,429号明細書
-
米国特許出願第10/658,840号明細書
-
米国特許出願公開第2004/0166433号明細書
-
米国特許出願第10/371,262号明細書
-
米国特許出願第10/440,452号明細書
-
米国特許第5,843,624号明細書
-
GB2,320,718号明細書
-
国際公開第00/67072号パンフレット
-
国際公開第00/17712号パンフレット
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米国特許第6,841,333号明細書
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米国特許第5,874,616号明細書
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米国特許第5,879,857号明細書
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審査官引用 (12件)
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引用文献:
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