特許
J-GLOBAL ID：200903084421279939

露光装置、光学面の保護方法及びデバイス製造方法

発明者：
太田 裕久

太田 裕久 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-200917
公開番号（公開出願番号）：特開2006-024706
出願日： 2004年07月07日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】投影光学系の光学素子表面への汚れ付着による光学特性の劣化を防止し、良好な投影露光を行う液浸露光装置を提供すること。【解決手段】この露光装置は、光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、レチクルのパターンを基板上に投影する投影光学系とを備え、投影光学系の最も基板近くに配置された光学素子と基板との間隙に充填された液浸剤を介して、パターンで基板を露光する露光装置であって、光学素子の光学面を保護するための光学面保護部材と、光学面保護部材を投影光学系に着脱する保護部材着脱機構とを有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンを基板上に投影する投影光学系とを備え、前記投影光学系の最も前記基板近くに配置された光学素子と前記基板との間隙に充填された液浸剤を介して、前記パターンで前記基板を露光する露光装置であって、 前記光学素子の光学面を保護するための光学面保護部材と、 該光学面保護部材を前記投影光学系に着脱する保護部材着脱機構とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 501
Fターム (8件)：
2H097EA01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  2H097LA20 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046DA12 ,  5F046DA30
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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