特許
J-GLOBAL ID：200903084451498325
インプリント・リソグラフィ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 白江 克則
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-377504
公開番号（公開出願番号）：特開2006-191087
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】基板及びインプリント可能媒体を有効に用いることができるインプリント方法及び装置を提供すること。【解決手段】一実施例によれば、基板上のインプリント可能媒体を型板と接触させて、媒体内にインプリント領域を形成する段階と、インプリント領域外に存在するインプリント可能媒体の少なくとも一部を除去する段階と、型板を媒体から離す段階とを含むインプリント方法が提供される。【選択図】図1c
請求項（抜粋）：
インプリント可能媒体の体積体を基板に形成する段階と、
基板上の前記インプリント可能媒体を型板と接触させて、前記媒体にインプリント領域を形成する段階と、
前記媒体を前記型板に接触させながら、前記インプリント領域内の媒体範囲を流動可能な状態から実質的に流動不能な状態へ変化させる段階と、
前記インプリント領域外に存在するインプリント可能媒体のうちの少なくとも一部を除去する段階と、
前記型板を前記媒体から離す段階とを含むインプリント方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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段付き鋳張り捺印式リソグラフィー
公報種別：公表公報
出願番号：特願2000-604271
出願人：ボード・オヴ・リージェンツ,ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テキサス・システム
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加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-096991
出願人：キヤノン株式会社
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加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-096992
出願人：キヤノン株式会社
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審査官引用 (8件)
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加工装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-096991
出願人：キヤノン株式会社
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段付き鋳張り捺印式リソグラフィー
公報種別：公表公報
出願番号：特願2000-604271
出願人：ボード・オヴ・リージェンツ,ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テキサス・システム
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3D光重合デバイスの製造
公報種別：公表公報
出願番号：特願2004-523288
出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブコロラド,アボディーコーポレイト
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