特許
J-GLOBAL ID：200903099382885734

端面薄膜除去装置

発明者：
高野 径朗

高野 径朗 について


出願人/特許権者：
シグマメルテック株式会社

シグマメルテック株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067722
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217185
出願日： 2000年02月04日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【目的】 基板端面の薄膜を高精度に、かつ、高品質で除去する装置を提供する。【構成】 基板を載置するステージと、剥離液を吐出する吐出孔と導入溝と吸引孔を備えたヘッドと、前記基板と前記ヘッドを相対的に移動する移動手段と、剥離液吐出手段と、吸引手段を具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
薄膜が塗布された基板を水平に載置して端面の薄膜を除去する装置において、前記基板を載置するステージと、剥離液吐出孔と導入溝と吸引孔を備えたヘッドと、前記基板と前記ヘッドを相対的に移動する移動手段と、剥離液吐出手段と、吸引手段を具備したことを特徴とする端面薄膜除去装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B05D 3/10 ,  G03F 7/42
FI (3件)：
B05D 3/10 N ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 577
Fターム (13件)：
2H096AA24 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA14 ,  2H096DA04 ,  4D075BB20Z ,  4D075DA06 ,  4D075DA34 ,  4D075DB11 ,  4D075DC19 ,  4D075EA60 ,  5F046JA15 ,  5F046MA10
引用特許：
審査官引用 (14件)
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