特許
J-GLOBAL ID：200903086396386841
前駆体を含有するナノ粒子を用いた金属のパターニング方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550143
公開番号（公開出願番号）：特表2004-531875
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
放射線への露光により金属ナノ粒子含有フィルムから連続的な、導電金属パターンを形成することができる。このパターンは一次元、二次元または三次元で、高い解像度であり、ミクロンからナノメーターのオーダーの特徴サイズをもたらす。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
予備核形成した金属ナノ粒子の成長方法であって、
前記予備核形成した金属ナノ粒子を複合材にして提供し、
放射線への露光により金属イオンを還元することによって金属原子を生成し、
前記金属原子を前記予備核形成した金属ナノ粒子と反応させ、それによって金属ナノ粒子を成長させる
ことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
5E343AA12
, 5E343AA26
, 5E343AA34
, 5E343BB23
, 5E343BB24
, 5E343BB25
, 5E343BB72
, 5E343DD68
, 5E343DD69
, 5E343EE02
, 5E343EE37
, 5E343GG08
, 5E343GG11
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (24件)
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