プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120247
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313599
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】プラズマの点灯が確実に行えて始動が良好であり、しかも安価なプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】片側が吹き出し口1として開放された反応容器2と複数のプラズマ生成用電極3、4とを具備して構成される。反応容器2の最も狭い内寸を1〜20mmに形成すると共に反応容器2の外面にプラズマ生成用電極3、4を接触させて設ける。反応容器2にプラズマ生成用ガスを導入すると共にプラズマ生成用電極3、4間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下で反応容器2内に放電を発生させてプラズマを生成する。反応容器2内で生成されたプラズマを吹き出し口1からジェット状に吹き出すプラズマ処理装置に関する。始動時にプラズマの点灯を補助するための始動補助手段15を備える。始動補助手段15でプラズマの点灯を補助することができる。

請求項（抜粋）：

片側が吹き出し口として開放された反応容器と複数のプラズマ生成用電極とを具備して構成され、反応容器の最も狭い内寸を1〜20mmに形成すると共に反応容器の外面にプラズマ生成用電極を接触させて設け、反応容器にプラズマ生成用ガスを導入すると共にプラズマ生成用電極間に電圧を印加することにより大気圧近傍の圧力下で反応容器内に放電を発生させてプラズマを生成し、反応容器内で生成されたプラズマを吹き出し口からジェット状に吹き出すプラズマ処理装置において、始動時にプラズマの点灯を補助するための始動補助手段を備えて成ることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (4件)：

H05H 1/26 , B01J 19/08 , C23F 4/00 , H01L 21/3065

FI (4件)：

H05H 1/26 , B01J 19/08 H , C23F 4/00 A , H01L 21/302 B

Fターム (25件)：

4G075AA30 , 4G075AA62 , 4G075BA05 , 4G075BD14 , 4G075BD30 , 4G075CA16 , 4G075CA33 , 4G075CA48 , 4G075EB43 , 4G075EB44 , 4G075EC21 , 4K057DA01 , 4K057DB06 , 4K057DD01 , 4K057DE08 , 4K057DM02 , 4K057DM40 , 4K057DN01 , 5F004AA14 , 5F004BA03 , 5F004BB13 , 5F004BC08 , 5F004DA01 , 5F004DA26 , 5F004DA28

引用特許：

審査官引用 (11件)

プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-303116 出願人：松下電工株式会社
大気圧プラズマ生成方法および装置並びに表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-169011 出願人：セイコーエプソン株式会社
誘導結合プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-222999 出願人：株式会社日立製作所

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