特許
J-GLOBAL ID:200903087303426160
縦型トランジスタおよび発光素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-092273
公開番号(公開出願番号):特開2005-277339
出願日: 2004年03月26日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】 キャリアの移動度が高く、可視光を透過することが可能な縦型トランジスタを提供する。【解決手段】 キャリアを放出するソース領域12と、当該ソース領域12から当該キャリアを受け取るドレイン領域13と、当該キャリア領域12とドレイン領域13の間に形成されたゲート電極14と、を有する縦型トランジスタであって、前記ソース領域12およびドレイン領域13を金属酸化物層により、形成したことを特徴とする縦型トランジスタを用いる。また、前記金属酸化物層は酸化亜鉛層からなると好適である。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
キャリアを放出するソース領域と、
当該ソース領域から当該キャリアを受け取るドレイン領域と、
当該キャリア領域とドレイン領域の間に形成されたゲート電極と、を有する縦型トランジスタであって、
前記ソース領域およびドレイン領域を金属酸化物層により、形成したことを特徴とする縦型トランジスタ。
IPC (6件):
H01L29/80
, H01L21/28
, H01L29/221
, H01L29/417
, H01L51/00
, H05B33/14
FI (6件):
H01L29/80 V
, H01L21/28 301B
, H01L29/221
, H05B33/14 A
, H01L29/28
, H01L29/50 J
Fターム (36件):
3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007GA00
, 4M104AA03
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB09
, 4M104BB13
, 4M104BB14
, 4M104BB16
, 4M104BB17
, 4M104BB18
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104GG04
, 4M104GG12
, 4M104HH16
, 5F102FB01
, 5F102GB04
, 5F102GC08
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ10
, 5F102GL01
, 5F102GM01
, 5F102GR01
, 5F102GR13
, 5F102GS09
, 5F102GT01
, 5F102GT02
, 5F102HC11
引用特許:
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