特許
J-GLOBAL ID：200903087877190483
光学要素上の堆積物の装置外での除去
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-258963
公開番号（公開出願番号）：特開2007-110107
出願日： 2006年09月25日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】光学要素への堆積物を装置外で除去する。【解決手段】放射集光器、カバープレート、及び放射集光器をカバープレートに接続する支持部材を有するコレクタアセンブリが提供される。カバープレートはコレクタチャンバの開口部を覆うように設計されている。コレクタチャンバの開口部は放射集光器及び支持部材を通過させられる大きさを有してもよい。放射集光器は異なるクリーニング処理によりクリーニングされうる。この処理はクリーニング装置で実行されうる。このクリーニング装置は例えば、少なくとも放射集光器の周囲を包囲する収容容積を形成するよう設計されている包囲カバーと、少なくとも放射集光器をクリーニングすべくクリーニングガス及びクリーニング液の少なくとも一方を収容容積に供給するよう構成されているインレットと、クリーニングガス及びクリーニング液の少なくとも一方を収容容積から取り除くよう構成されているアウトレットと、を備えてもよい。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
放射集光器の堆積物をクリーニングする方法であって、
コレクタチャンバ及びコレクタアセンブリを設け、前記コレクタアセンブリは放射集光器と、支持部材により前記放射集光器に接続されるカバープレートとを備え、前記カバープレートは前記コレクタチャンバに接続されており、かつ前記カバープレートは前記放射集光器が前記コレクタチャンバに収容されるようコレクタチャンバ開口部を覆っており、
前記コレクタチャンバと前記カバープレートとの接続を解除し、
前記放射集光器が前記コレクタチャンバ開口部を通じて前記コレクタチャンバの外部に移動するように前記コレクタアセンブリを取り外し、
少なくとも前記放射集光器の周囲を取り囲むよう設計されている包囲カバーを設け、これにより収容容積が形成され、
クリーニングガス及びクリーニング液の少なくとも一方を前記収容容積に供給し、
前記クリーニングガスまたは前記クリーニング液の前記少なくとも一方により少なくとも前記放射集光器から堆積物の少なくとも一部を除去することを備える方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01L 21/304
H01L21/30 531S
, H01L21/30 503G
, H01L21/30 515A
, G03F7/20 521
, H01L21/304 645Z
5F046AA22
, 5F046BA03
, 5F046CA04
, 5F046CB01
, 5F046CB02
, 5F046CB09
, 5F046CB22
, 5F046DA01
, 5F046GA09
, 5F046GB01
, 5F046GC03
