特許
J-GLOBAL ID:200903089196548650
加振型接触検出センサ
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-256369
公開番号(公開出願番号):特開2005-345483
出願日: 2005年09月05日
公開日(公表日): 2005年12月15日
要約:
【課題】 スタイラスの軸方向逃げ機構を設けることなく、スタイラスの損傷を防止できる加振型接触検出センサを提供する。【解決手段】 スタイラス20、加振手段31および検出手段32とを含んで構成される加振型接触検出手段と、ホルダ10とを備えた加振型接触検出センサ1。ホルダ10には、複数の板ばね141を含んで構成される平行板ばね14が設けられるとともに、加振型接触検出手段は、平行板ばね14に支持され、スタイラス20は、その軸方向が平行板ばね14の弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
略柱状に形成されかつ先端側に被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、このスタイラスを軸方向に直接的もしくは間接的に共振状態で振動させる加振手段と、前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段とを含んで構成される加振型接触検出手段と、
ホルダとを備えた加振型接触検出センサであって、
前記ホルダには、複数の板ばねを含んで構成される平行板ばねが設けられるとともに、
前記加振型接触検出手段は、前記平行板ばねに支持され、
前記スタイラスは、その軸方向が前記平行板ばねの弾性変形可能な方向に略沿う状態で配置されていることを特徴とする加振型接触検出センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (7件):
2F069AA04
, 2F069DD01
, 2F069GG01
, 2F069GG19
, 2F069HH01
, 2F069LL02
, 2F069MM26
引用特許:
出願人引用 (14件)
-
タッチ信号プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-220474
出願人:株式会社ミツトヨ
-
3次元形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-172276
出願人:キヤノン株式会社
-
表面形状計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-296123
出願人:キヤノン株式会社
-
特表平5-508476
-
特許第3819250号
-
特許第3650556号
-
特許第3650555号
-
タッチ信号プローブの動作制御構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-101149
出願人:株式会社ミツトヨ
-
タッチ信号プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-241670
出願人:株式会社ミツトヨ
-
固体振動子の形態の接触子を備えた座標測定器
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-508934
出願人:カール-ツァイス-スチフツング
-
タッチ信号プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-265257
出願人:株式会社ミツトヨ
-
タッチ信号プローブ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-334978
出願人:株式会社ミツトヨ
-
測定機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-050748
出願人:株式会社ミツトヨ
-
特開昭54-078164
全件表示
審査官引用 (4件)