特許
J-GLOBAL ID:200903090482838264
半導体レーザ素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-249111
公開番号(公開出願番号):特開2002-374042
出願日: 2001年08月20日
公開日(公表日): 2002年12月26日
要約:
【要約】【課題】 圧縮歪の活性層を有する半導体レーザ素子において、活性領域の歪を補償してしきい値電流の温度依存性を改善し、さらに高出力まで高い信頼性を得る。【解決手段】 圧縮歪Inx3Ga1-x3As1-y3Py3量子井戸活性層5と上下に隣接して積層されているnあるいはi-In0.49Ga0.51P光導波層3およびpあるいはi-In0.49Ga0.51P光導波層7との間に、それぞれInx2Ga1-x2As1-y2Py2引張り歪障壁層4およびInx2Ga1-x2As1-y2Py2引張り歪障壁層6を設ける。活性層5の圧縮歪量と該活性層の膜厚の積と、引張り歪障壁層の引張り歪量と該障壁層の合計膜厚の積との和の絶対値が0.25nm以下であることが望ましい。
請求項(抜粋):
圧縮歪を有するIn<SB>x3</SB>Ga<SB>1-x3</SB>As<SB>1-y3</SB>P<SB>y3</SB>(ただし、0<x3≦0.4、0≦y3≦0.1)活性層の上下層にそれぞれGaAsに格子整合するIn<SB>0.</SB><SB>49</SB>Ga<SB>0.51</SB>P光導波層を有する半導体レーザ素子において、前記活性層と前記光導波層の間にIn<SB>x2</SB>Ga<SB>1-x2</SB>As<SB>1-y2</SB>P<SB>y2</SB>引張り歪障壁層(0≦x2<0.49y2、0<y2≦0.4)が設けられていることを特徴とする半導体レーザ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (25件):
5F045AA04
, 5F045AB10
, 5F045AB17
, 5F045AB18
, 5F045AB32
, 5F045AF04
, 5F045BB08
, 5F045BB12
, 5F045BB16
, 5F045CA12
, 5F045DA55
, 5F045DA63
, 5F045DA64
, 5F045DA69
, 5F045HA14
, 5F073AA07
, 5F073AA20
, 5F073AA53
, 5F073AA73
, 5F073AA83
, 5F073CA13
, 5F073CB02
, 5F073DA05
, 5F073DA22
, 5F073DA32
引用特許:
審査官引用 (13件)
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半導体レーザおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-139623
出願人:富士写真フイルム株式会社
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-236141
出願人:株式会社日立製作所
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半導体レーザ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-225546
出願人:沖電気工業株式会社
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半導体レーザ素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-343512
出願人:三洋電機株式会社
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半導体レーザ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-316903
出願人:三菱化学株式会社
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量子井戸半導体レーザ素子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-214277
出願人:古河電気工業株式会社
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半導体レーザ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-155691
出願人:富士写真フイルム株式会社
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屈折率導波型半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-266566
出願人:富士写真フイルム株式会社
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-277741
出願人:富士写真フイルム株式会社
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歪層量子井戸レーザを含む製品
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-318049
出願人:アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-085230
出願人:富士写真フイルム株式会社
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-317644
出願人:富士写真フイルム株式会社
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-265144
出願人:富士写真フイルム株式会社
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