表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：植木久一 , 菅河忠志 , 二口治 , 伊藤浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-210218
公開番号（公開出願番号）：特開2008-098611
出願日： 2007年08月10日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：

【課題】低電気抵抗配線を実現すると共に微細加工性に優れ、且つ製造工程で加わる熱履歴にも十分耐える耐熱性を有するアルミニウム合金配線を備えた表示装置を提供すること。【解決手段】ガラス基板上に、透明導電膜と薄膜トランジスタを電気的に接続するアルミニウム合金配線膜が配置された表示装置において、該アルミニウム合金配線膜は、Ni,Agなど特定の元素群Qから選ばれる1種以上の元素と、希土類元素やMgなど特定の元素群Rから選ばれる1種以上の元素を特定量含むアルミニウム合金からなる第一層(X)と、該第一層(X)よりも電気抵抗率の低いアルミニウム合金からなる第二層(Y)とを含む積層構造を有し、第一層(X)が透明電極膜と直接接している表示装置である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ガラス基板上に、透明導電膜と薄膜トランジスタを電気的に接続するアルミニウム合金配線膜が配置された表示装置において、該アルミニウム合金配線膜は、 Ni,Ag,Zn,Cuよりなる元素群Qから選ばれる少なくとも1種の元素を0.1〜6原子%含み、且つ、希土類元素,Mg,Mn,V,Pt,Cr,Ru,Rh,Pd,Ir,W,Ti,Zr,Nb,Hf,Ta,Sn,Feよりなる元素群Rから選ばれる少なくとも1種の元素を0.1〜6原子%含むアルミニウム合金からなる第一層(X)と、純アルミニウム、またはアルミニウムを主成分とするアルミニウム合金であって、前記第一層(X)よりも電気抵抗率の低いアルミニウム合金からなる第二層(Y)とを含む積層構造を有し、第一層(X)が透明導電膜と直接接していることを特徴とする表示装置。

IPC (10件)：

H01L 29/786 , G02F 1/134 , G02F 1/136 , H01L 21/28 , H01L 29/417 , H01L 29/423 , H01L 29/49 , G09F 9/30 , H01L 21/320 , H01L 23/52

FI (12件)：

H01L29/78 616U , H01L29/78 617L , G02F1/1343 , G02F1/1368 , H01L29/78 617M , H01L29/78 616V , H01L29/78 612C , H01L21/28 301R , H01L29/50 M , H01L29/58 G , G09F9/30 338 , H01L21/88 N

Fターム (142件)：

2H092GA29 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA40 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA18 , 2H092KB04 , 2H092KB11 , 2H092KB25 , 2H092MA04 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA19 , 2H092MA27 , 2H092MA29 , 2H092MA30 , 2H092MA41 , 2H092NA28 , 2H092NA29 , 4M104AA01 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB38 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD08 , 4M104DD17 , 4M104DD37 , 4M104DD78 , 4M104FF08 , 4M104GG09 , 4M104GG14 , 4M104HH03 , 4M104HH15 , 5C094AA14 , 5C094AA31 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DB10 , 5C094EA10 , 5C094FB12 , 5F033GG04 , 5F033HH08 , 5F033HH10 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033KK04 , 5F033KK05 , 5F033KK10 , 5F033LL02 , 5F033LL09 , 5F033MM05 , 5F033MM19 , 5F033NN32 , 5F033PP15 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ27 , 5F033QQ37 , 5F033QQ53 , 5F033QQ58 , 5F033QQ65 , 5F033QQ69 , 5F033QQ73 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033TT02 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW04 , 5F033XX09 , 5F033XX10 , 5F033XX18 , 5F033XX20 , 5F033XX33 , 5F110AA03 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110EE03 , 5F110EE06 , 5F110EE11 , 5F110EE12 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG45 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HK03 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK17 , 5F110HK18 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK33 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL09 , 5F110HL10 , 5F110HL11 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110HM03 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110PP03 , 5F110PP35 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ12

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-20930号公報
マイクロコンピュータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-165174 出願人：日本電気株式会社
液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-174190 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (7件)

液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-174190 出願人：株式会社日立製作所
表示デバイスおよびその製法、ならびにスパッタリングターゲット
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-274288 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭64-059852

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