特許
J-GLOBAL ID：200903091488839684
レポートフォーマット設定方法、レポートフォーマット設定装置、及び欠陥レビューシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-052620
公開番号（公開出願番号）：特開2007-232480
出願日： 2006年02月28日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：
【課題】欠陥レビュー装置において、装置が取得する多種多様な情報の中から必要な情報を選択し、目的に対して最適なレビューレポートフォーマットを容易に設定する。【解決手段】レポートの構成要素をモジュール単位でアイコン821〜830を用いてOSD表示したテンプレート編集画面800を生成する。マウス等のポインティングデバイスを用いてアイコン821〜830を選択し、ドラッグ&ドロップ操作S01により、同じ画面上に形成した出力フォーマット設定領域850の所望の位置に配置し、さらにドラッグ&ドロップ操作S02により、所望のサイズに設定する。そして、同じ画面上の詳細設定領域860で、配置したアイコンが表すモジュールの詳細設定ができる。設定したフォーマット情報は、保存機能39により、テンプレートして保存され、呼び出すだけで簡単に使用できる。また、保存したテンプレートは編集も可能で、新規作成だけでなく、既存テンプレートを修正することも簡単に実現できる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
レビュー結果を報告するレビューレポートのレポートフォーマット設定方法であって、
レポート出力におけるレビュー結果の構成要素をそれぞれ表すアイコンとレポート出力する媒体を表す出力フォーマット設定領域とを有する編集画面を生成する編集画面生成ステップ、
ポインティングデバイスの操作に対応して該アイコンを該編集画面上で移動配置させるアイコン制御ステップ、
前記出力フォーマット設定領域に配置されたアイコンの当該出力フォーマット設定領域上における所在に対応する前記媒体上の位置に、当該アイコンが表すレビュー結果の構成要素を配置することを指示するレポート出力フォーマットを編集するフォーマット編集ステップ、
を有することを特徴とするレポートフォーマット設定方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N23/225
, H01L21/66 Z
, H01L21/66 J
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001CA10
, 2G001EA03
, 2G001FA01
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001JA07
, 2G001JA13
, 2G001JA16
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB05
, 4M106DJ20
出願人引用 (17件)
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審査官引用 (17件)
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