特許
J-GLOBAL ID：200903093450233068
研磨体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池田 治幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-189353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-025415
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】CMP法による研磨加工に用いられる研磨体であって、スラリによらずに十分な研磨効率・研磨性能を示す研磨体およびその製造方法を提供する。【解決手段】母材樹脂12の臨界表面張力が1.6×10-2〜4.0×10-2(N/m)の範囲内であり、その母材樹脂12と研磨粒子14とが必要十分な結合力により相互に固着されている為、CMP法による研磨加工に際して上記研磨粒子14が上記母材樹脂12から遊離し易く、研磨体10とワーク32との間に遊離砥粒を好適に自己供給することができる。また、上記母材樹脂12は複数の連通気孔16を備えて形成されたものであり、上記研磨粒子14はその連通気孔16内に好適に分散されて設けられたものである為、スクラッチなどの不具合を発生させることなく精度の高い研磨加工をおこなうことができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
母材樹脂および多数の研磨粒子を備えて円板状に形成され、専らCMP法による研磨加工に用いられる研磨体であって、
前記母材樹脂は、その臨界表面張力が1.6×10-2〜4.0×10-2(N/m)の範囲内であることを特徴とする研磨体。
IPC (7件)：
B24D7/02
, B24B37/00
, B24D3/00
, B24D3/28
, B24D3/32
, B24D3/34
, H01L21/304
B24D7/02 B
, B24B37/00 C
, B24D3/00 320A
, B24D3/00 340
, B24D3/28
, B24D3/32
, B24D3/34 Z
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058CB01
, 3C058DA17
, 3C063AB05
, 3C063BA02
, 3C063BB01
, 3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BC03
, 3C063CC17
, 3C063EE26
, 3C063FF23
