特許
J-GLOBAL ID：200903093615423568

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置の製造方法

発明者：
真壁 裕明

真壁 裕明 について

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番場 敏夫

番場 敏夫 について

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平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-247366
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125815
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】高感度で、かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/022 ,  G03F7/037 ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R
Fターム (15件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB23 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
審査官引用 (11件)
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