特許
J-GLOBAL ID：200903096570098724

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
安藤 和徳

安藤 和徳 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211590
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041875
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 表面凹凸の激しい試料の測定において測定範囲を広げること および カンチレバーのレーザ反射面先端の不安定変形の影響の無い正確な物理特性を測定可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 レ-ザ5をカンチレバ-2のレ-ザ反射面の根元寄り6に照射することで 同じ凹凸の高さであっても光位置検出器の信号変動量を小さく抑えるようにし、試料の凹凸が激しい場合でも測定範囲を広げ、カンチレバーのレーザ反射面先端の不安定変形の影響を抑え正確な物理特性を測定できるようにした。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバ-のレ-ザ反射面に照射するレ-ザとレ-ザの反射光の位置を検出する光位置検出器と試料を移動させる試料移動手段からなり 探針の変位を光位置検出器の信号を測定することで 試料表面の凹凸情報および物理特性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、レ-ザをカンチレバ-のレ-ザ反射面の根元寄り(レバ-長手方向において 先端、中間、根元としたとき 中間と根元の間)に照射することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G01N 19/04
FI (4件)：
G01N 13/16 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/10 D ,  G01N 19/04 D
Fターム (20件)：
2F069AA06 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069CC06 ,  2F069DD30 ,  2F069FF00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG19 ,  2F069HH05 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ12 ,  2F069KK07 ,  2F069KK08 ,  2F069KK10 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069RR09
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (10件)
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