特許
J-GLOBAL ID：200903097586540458
UVインプリンティングのためのコンプライアントなハード・テンプレート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-510799
公開番号（公開出願番号）：特表2007-535172
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
熱インプラント・テンプレートの役目をも果たすコンプライアントUVインプリント・リソグラフィ・テンプレート、および、それを製造する方法が開示される。テンプレートは、本質的に、レリーフ像とそのレリーフ像を調整するようになっているエラストマーを備える。実施形態において、レリーフ像は、コンプライアントインプリンティング層に配置され、エラストマーは、インプリンティング層と剛性透明基板との間に配置される。実施形態において、テンプレートはウェハ基板に対してコンプライアント性がある。実施形態において、エラストマーとインプリンティング層を基板上に層を重ね、レリーフ像をインプリンティング層にパターニングすることによって、テンプレートが形成される。
請求項（抜粋）：
リソグラフィ・テンプレートであって、
本体と、
パターンを決める、複数の突起部と窪み部とを備えるインプリンティング層と、
前記インプリンティング層と前記本体との間に位置するエラストマーと
を備え、前記エラストマーが、前記パターンの一部分を変更するように構成されるテンプレート。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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