加振型接触検出センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126410
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039737
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】スタイラスの形状および材質等を制限することなく、被測定物との接触を高感度に検出できるタッチ信号プローブを提供すること。【解決手段】検出手段32に直接スタイラス20を装着し、検出手段32をホルダ10に直接装着することで、ホルダ10とスタイラス20とを互いに非接触の状態で、かつスタイラス20と検出手段32とを接触の状態でタッチ信号プローブ1を構成した。従って、ホルダ10によるスタイラス20の振動および状態変化の減衰を回避できるとともに、スタイラス20の振動および状態変化が検出手段32に直接伝搬されるので、検出手段32によるスタイラス20の振動および状態変化の検出を高感度にでき、被測定物との接触を高感度に検出できる。

請求項（抜粋）：

ホルダと、略柱状に形成されかつ先端側に被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、このスタイラスを軸方向に直接的もしくは間接的に共振状態で振動させる加振手段と、前記接触部と前記被測定物との接触に際して生じる前記スタイラスの共振状態の変化から当該接触を検出する検出手段とを含んで構成される加振型接触検出センサであって、前記ホルダには、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも加振手段が装着され、前記スタイラスには、前記加振手段および検出手段のうちの少なくとも検出手段が装着され、前記ホルダと前記スタイラスとが互いに非接触な構成になっていることを特徴とする加振型接触検出センサ。

IPC (4件)：

G01B 21/00 , G01B 7/00 , H01L 41/08 , H01L 41/12

FI (4件)：

G01B 21/00 P , G01B 7/00 S , H01L 41/12 , H01L 41/08 Z

Fターム (33件)：

2F063AA04 , 2F063AA50 , 2F063CA28 , 2F063CA40 , 2F063DA02 , 2F063DA04 , 2F063DD02 , 2F063EB02 , 2F063EB07 , 2F063EB18 , 2F063EB22 , 2F063EB27 , 2F063GA56 , 2F063HA09 , 2F063HA10 , 2F063HA20 , 2F063ZA01 , 2F069AA04 , 2F069AA98 , 2F069DD30 , 2F069GG02 , 2F069GG06 , 2F069GG19 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069LL02 , 2F069LL03 , 2F069LL06 , 2F069LL11 , 2F069MM04 , 2F069MM32 , 2F069RR03

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開昭54-078164
加振型接触検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-256369 出願人：株式会社ミツトヨ
特許第3650556号

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審査官引用 (1件)

特開昭54-078164

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