特許
J-GLOBAL ID：201003017417740267

物理量センサおよび物理量計測方法

発明者：
上野 達也

上野 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-270794
公開番号（公開出願番号）：特開2010-101642
出願日： 2008年10月21日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：
【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。【解決手段】物理量センサは、物体10にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、発振波長が増加する第1の発振期間と発振波長が減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ1を動作させるレーザドライバ4と、半導体レーザ1から放射されたレーザ光と物体10からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード2および電流-電圧変換増幅部5と、電流-電圧変換増幅部5の出力信号に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部7と、信号抽出部7の計測結果を基準周期と比較することにより補正し、補正した個々の周期に基づいて物体10の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部8とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、 発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、 前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、 この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手段と、 この信号抽出手段の計測結果を基準周期と比較することにより前記計測結果を補正する周期補正手段と、 この周期補正手段で補正された個々の周期に基づいて前記測定対象の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する算出手段とを備えることを特徴とする物理量センサ。
IPC (5件)：
G01S 17/42 ,  G01S 7/48 ,  G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01P 3/36
FI (5件)：
G01S17/42 ,  G01S7/48 A ,  G01B11/00 G ,  G01B9/02 ,  G01P3/36 Z
Fターム (50件)：
2F064AA01 ,  2F064CC04 ,  2F064EE09 ,  2F064FF02 ,  2F064FF08 ,  2F064GG44 ,  2F064GG55 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ12 ,  2F065AA06 ,  2F065BB15 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG06 ,  2F065GG25 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ18 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ51 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  5J084AA05 ,  5J084AA07 ,  5J084AD08 ,  5J084AD20 ,  5J084BA04 ,  5J084BA36 ,  5J084BB02 ,  5J084CA08 ,  5J084CA26 ,  5J084CA32 ,  5J084CA48 ,  5J084CA52 ,  5J084CA53 ,  5J084CA61 ,  5J084CA70 ,  5J084DA08 ,  5J084EA04 ,  5J084EA05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (12件)
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