特許
J-GLOBAL ID：201003024497402312
プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
中里 浩一
, 川崎 仁
, 三嶋 景治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-500242
公開番号（公開出願番号）：特表2010-525155
出願日： 2008年03月21日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：
【課題】 【解決手段】 本発明は、壁(2)を備える真空チャンバ(1)と、一つ以上のプラズマ励起装置(6)及び電子サイクロトロン共鳴においてマイクロ波エネルギーをプラズマに結合するためにプラズマを巡って定磁界を発生させる手段を備えるプラズマ源(5)とを備えるプラズマ発生装置に関し、前記プラズマ励起装置(6)のそれぞれはマイクロ波エネルギー源に接続可能な同軸マイクロ波コネクタ(7)と、プラズマを励起するマイクロ波エネルギーを発することができるループアンテナ(9)とを備える。発明によれば、一つ以上のプラズマ励起装置(6)のループアンテナ(9)はプラズマに接触するために真空チャンバ(1)内部に配置され、定磁界発生手段は真空チャンバ(1)の壁に配置された少なくとも二つの磁気双極子(10)を備え、前記一つ以上のプラズマ励起装置(6)のそれぞれの両側には前記二つの磁気双極子(10)が配置される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
外面(3)と内面(4)を有する壁(2)を備える真空チャンバ(1)と、
プラズマ源(5)と
を備えるプラズマ発生装置において、
前記プラズマ源(5)は、
それぞれがマイクロ波エネルギー源に接続可能な同軸マイクロ波コネクタ(7)及びプラズマを励起するマイクロ波エネルギーを発することができるループアンテナ(9)を備える一つ以上のプラズマ励起装置(6)と、
電子サイクロトロン共鳴においてマイクロ波エネルギーをプラズマに結合するためにプラズマを巡って定磁界を発生させる手段と
を備える
プラズマ発生装置であって、
前記プラズマ励起装置(6)の前記同軸マイクロ波コネクタ(7)は、一方の側では前記ループアンテナ(9)に接続され、他方の側では同軸線路を介して前記マイクロ波エネルギー源に直接接続可能であり、
前記一つ以上のプラズマ励起装置(6)の前記ループアンテナ(9)はプラズマに接触するために前記真空チャンバ(1)内部に配置され、
前記定磁界発生手段は前記真空チャンバ(1)の前記外壁面(3)に配置された少なくとも二つの磁気双極子(10)を備え、前記一つ以上のプラズマ励起装置(6)のそれぞれの両側には前記二つの磁気双極子(10)が配置される
ことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
C23C 16/511
, H05H 1/46
, H01L 21/306
C23C16/511
, H05H1/46 C
, H01L21/302 101D
4K030BA30
, 4K030FA01
, 4K030KA01
, 4K030LA16
, 5F004AA16
, 5F004BA14
, 5F004BB07
, 5F004BB14
, 5F004BB29
, 5F004BD03
, 5F004BD04
, 5F004DB01
, 5F004DB03
, 5F004DB07
, 5F004DB30
