特許
J-GLOBAL ID：201003048439712219

流体制御方法及び流体制御装置

発明者：
横田 博

横田 博 について


出願人/特許権者：
倉敷紡績株式会社

倉敷紡績株式会社 について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-030366
公開番号（公開出願番号）：特開2010-184203
出願日： 2009年02月12日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：
【課題】複数の流体を正確かつ迅速に目標の特性になるように混合する。【解決手段】混合前の複数の流体を流すための流路5,7,11,13と、混合後の流体を流すための流路15,17と、流体を流路で移動させるためのポンプ19と、混合前の複数の流体の流量をそれぞれ調整するための流量調整部11b,13bと、混合後の流体の特性を光学的に測定するための測定部15aと、測定部15aの測定結果に基づいて混合後の流体が目標の特性になるように流量調整部11b,13bを制御して混合前の流体の流量を調整する制御部21と、を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流路内を流れる混合前の複数の流体をそれぞれ流量調整しつつ混合し、流路内を流れる混合後の流体の特性を光学的に測定し、その測定結果に基づいて前記混合後の流体が目標の特性になるように前記混合前の流体の流量を調整する流体制御方法。
IPC (7件)：
B01F 15/04 ,  H01L 21/306 ,  G01N 37/00 ,  G01N 21/35 ,  B01F 3/08 ,  B01F 5/00 ,  G01N 21/33
FI (7件)：
B01F15/04 A ,  H01L21/306 J ,  G01N37/00 101 ,  G01N21/35 Z ,  B01F3/08 Z ,  B01F5/00 A ,  G01N21/33
Fターム (31件)：
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC15 ,  2G059DD05 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059EE17 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK01 ,  4G035AB36 ,  4G035AC01 ,  4G037BA01 ,  4G037BB30 ,  4G037BD06 ,  4G037BD09 ,  4G037BD10 ,  4G037EA01 ,  5F043AA02 ,  5F043BB01 ,  5F043DD23 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE29 ,  5F043GG10
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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