特許
J-GLOBAL ID：201003058640680460

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
山本 慶

山本 慶 について

, 
岩戸 薫

岩戸 薫 について

, 
三枝 浩

三枝 浩 について

, 
平野 修史

平野 修史 について

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飯塚 裕介

飯塚 裕介 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-099418
公開番号（公開出願番号）：特開2010-250075
出願日： 2009年04月15日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】パターンの現像欠陥及びディスタンス依存性が改善された感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)側鎖にノルボルナン構造を有する特定の繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、(C)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基を有する樹脂を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及び該組成物を用いたパターン形成方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(A1)で表される繰り返し単位を有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する化合物、(C)フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基を有する樹脂を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/12 ,  C08F 20/04 ,  C08F 12/04 ,  C08F 32/08
FI (7件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/38 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/12 ,  C08F20/04 ,  C08F12/04 ,  C08F32/08
Fターム (115件)：
2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096DA10 ,  2H096EA05 ,  2H096GA09 ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF36P ,  2H125AF70P ,  2H125AH12 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ13X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ70X ,  2H125AM12P ,  2H125AM15P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM30P ,  2H125AM32P ,  2H125AM43P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN57P ,  2H125AN63P ,  2H125AN65P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ03Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL21P ,  4J100AL21Q ,  4J100AL21R ,  4J100AL21S ,  4J100AL26P ,  4J100AL26Q ,  4J100AL26R ,  4J100AL26S ,  4J100AL31P ,  4J100AL31Q ,  4J100AL31R ,  4J100AL31S ,  4J100AR09P ,  4J100AR09Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA12P ,  4J100BA12Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA22P ,  4J100BA22Q ,  4J100BA35P ,  4J100BA35Q ,  4J100BA55P ,  4J100BA55Q ,  4J100BA56P ,  4J100BA56Q ,  4J100BA59P ,  4J100BA59Q ,  4J100BA72P ,  4J100BA72R ,  4J100BA81P ,  4J100BA81R ,  4J100BB07P ,  4J100BB07R ,  4J100BB18P ,  4J100BB18R ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC55P ,  4J100BC55Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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