特許
J-GLOBAL ID：201003068739353491
反射防止膜、その形成方法、光学素子、交換レンズ及び撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-288172
公開番号（公開出願番号）：特開2010-113310
出願日： 2008年11月10日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：
【課題】1.45〜1.60の屈折率を有する光学ガラス基材上に設けられ、広い波長範囲で、かつ広い入射角度の光に対して優れた反射防止性を有し、かつ優れたヤケ防止性を有する反射防止膜、その形成方法、光学素子、交換レンズ及び撮像装置を提供する。【解決手段】1.45〜1.60の屈折率を有する光学ガラス基材上に、85〜205 nmの光学膜厚を有し、アルミナを主成分とする緻密膜を形成し、その上に1.93〜2.77の屈折率を有する緻密膜及び1.33〜1.50の屈折率を有する緻密膜をそれぞれ所定の光学膜厚となるように交互に二層ずつ形成し、その上に1.05〜1.15の屈折率及び100〜230 nmの光学膜厚を有し、メソポーラスシリカナノ粒子の集合体により形成されたメソポーラスシリカ多孔質膜を形成してなる反射防止膜。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
400〜700 nmの波長の光に対して1.45〜1.60の屈折率を有する光学ガラス基材の表面に、前記基材側から順に形成された第一層〜第六層の膜を有する反射防止膜であって、各々400〜700 nmの波長の光に対して、(1) 前記第一層が85〜205 nmの光学膜厚を有し、アルミナを主成分とする緻密膜からなり、(2) 前記第二層が1.93〜2.77の屈折率及び10〜100 nmの光学膜厚を有する緻密膜からなり、(3) 前記第三層が1.33〜1.50の屈折率及び20〜80 nmの光学膜厚を有する緻密膜からなり、(4) 前記第四層が1.93〜2.77の屈折率及び15〜105 nmの光学膜厚を有する緻密膜からなり、(5) 前記第五層が1.33〜1.50の屈折率及び110〜185 nmの光学膜厚を有する緻密膜からなり、(6) 前記第六層が1.05〜1.15の屈折率及び100〜230 nmの光学膜厚を有し、メソポーラスシリカナノ粒子の集合体により形成されたメソポーラスシリカ多孔質膜からなることを特徴とする反射防止膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2K009AA09
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC22
, 2K009DD02
, 2K009DD04
, 2K009DD05
出願人引用 (1件)
審査官引用 (11件)
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