特許
J-GLOBAL ID：201003090037230630

基板交換方法及び基板処理装置

発明者：
石沢 繁

石沢 繁 について

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小泉 浩

小泉 浩 について

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大木 達也

大木 達也 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-089509
公開番号（公開出願番号）：特開2010-245127
出願日： 2009年04月01日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：
【課題】基板処理室のクリーニング処理を行う間も搬送装置に仕事をさせることで、搬送装置が本来有するスループットを発揮させ、基板処理装置全体のスループットを向上させることができる基板交換方法及び基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理室と、ロードロック室と、2つの搬送部材により基板を基板処理室及びロードロック室に搬入出可能な搬送装置とを備えた基板処理装置において、第1の基板処理室で処理する基板の交換を行う際、第1の基板W1を第1の搬送部材により第1の基板処理室から搬出する第1の搬出工程S1を行った後、第2の基板W3を第2の搬送部材により第1の基板処理室へ搬入する第1の搬入工程S4を行う前に、第2の基板W3を第2の搬送部材により第1のロードロック室から搬出する第2の搬出工程S2と、第1の基板W1を第1の搬送部材により第1のロードロック室へ搬入する第2の搬入工程S3とを行う。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板処理室と、ロードロック室と、2つの搬送部材により基板を前記基板処理室及び前記ロードロック室に搬入出可能な搬送装置とを備えた基板処理装置における、前記基板処理室で処理する基板の交換を行う基板交換方法において、 第1の基板を第1の搬送部材により前記基板処理室から搬出する第1の搬出工程と、 第2の基板を第2の搬送部材により前記基板処理室へ搬入する第1の搬入工程と を有し、 前記第1の搬出工程を行った後、前記第1の搬入工程を行う前に、 前記第2の基板を前記第2の搬送部材によりロードロック室から搬出する第2の搬出工程と、 前記第1の基板を前記第1の搬送部材によりロードロック室へ搬入する第2の搬入工程と を行うことを特徴とする基板交換方法。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/44
FI (6件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/302 102 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 B ,  C23C16/44 F
Fターム (34件)：
4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA12 ,  4K030LA15 ,  5F004AA14 ,  5F004AA16 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA01 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA04 ,  5F031MA07 ,  5F031MA13 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA09 ,  5F031PA03 ,  5F045DP01 ,  5F045DQ17 ,  5F045EN04 ,  5F045HA24
引用特許：
出願人引用 (9件)
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