感光性レジスト用現像液組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：櫻井健一 , 林博史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121738
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310861
特許番号：特許第4431641号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液状組成物に対する摂氏20度における水の溶解度が3から30重量%であって、シクロヘキサノール、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、エチレングリコールモノエチルへキシルエーテル、エチレングリコールジアセテートからなる群より選ばれる1種以上の液状組成物と、水とを含み、水の含有量が液状組成物に対する摂氏20度における水の溶解度以下であることを特徴とする現像液組成物。

IPC (2件)：