特許
J-GLOBAL ID:201103022977099193
孔型電極を有する半導体イメージセンサ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (16件):
酒井 宏明
, 田中 重光
, 石川 新
, 鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 酒井 宏明
, 田中 重光
, 石川 新
, 鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 河野 哲
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-339711
公開番号(公開出願番号):特開2003-142670
特許番号:特許第4397012号
出願日: 2001年11月05日
公開日(公表日): 2003年05月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 半導体からなるプレートと、
前記プレート上の第1の方向及び第2の方向に沿って所定の間隔で前記プレートの厚さ方向に貫通して形成された複数の孔型電極と、
前記孔型電極のそれぞれに電圧を供給する手段であって、隣り合うことのない所定の複数の前記孔型電極をアノードとした場合に、当該複数のアノードと隣り合う各孔型電極をカソードとして電圧を供給する電圧供給手段と、
を具備するイメージセンサであって、
前記アノードと、前記複数のカソードと、当該アノードと当該複数のカソードとの間に存在する前記半導体と、からなる複数のセンサ素子がマトリックス状に配列されたセンサ素子アレイが形成されていること、
を特徴とするイメージセンサ。
IPC (3件):
H01L 27/14 ( 200 6.01)
, H04N 5/32 ( 200 6.01)
, G01T 1/24 ( 200 6.01)
FI (4件):
H01L 27/14 K
, H01L 27/14 D
, H04N 5/32
, G01T 1/24
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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