ボロメータ用抵抗材料、それを用いた赤外線検出器用ボロメータ、及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-197168
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054974
出願日： 2010年09月02日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】ボロメータ用抵抗材料、それを用いた赤外線検出器用ボロメータ、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るボロメータ用抵抗材料は、アンチモン(Sb)に、窒素(N)、酸素(O)及びゲルマニウム(Ge)からなる群から選択された1つ以上の元素を含むものであって、このような抵抗材料は、優れた特性、すなわち、高いTCR、低い比抵抗及び低いノイズ定数を有し、CMOS工程で一般的に用いるスパッタリング法を用いて容易に薄膜で製造され、非冷却型赤外線検出器のボロメータに抵抗体として用いることができ、赤外線検出器に優れた温度精度を具現することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アンチモンSbに、窒素(N)、酸素(O)及びゲルマニウム(Ge)からなる群から選択された1つ以上の元素が含まれることを特徴とするボロメータ用抵抗材料。

IPC (3件)：

H01C 7/04 , G01J 1/02 , H01L 37/00

FI (3件)：

H01C7/04 , G01J1/02 C , H01L37/00

Fターム (8件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA34 , 2G065CA23 , 5E034BA09 , 5E034BC02 , 5E034DA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

超電導素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-267334 出願人：三洋電機株式会社
超電導素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-336896 出願人：三洋電機株式会社
赤外線センサ用薄膜、その製造方法、およびそれを用いた赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-092164 出願人：国立大学法人大阪大学

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