化学増幅ネガ型レジスト組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中山亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-218421
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042529
特許番号：特許第4348786号
出願日： 1999年08月02日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性樹脂、放射線の作用により酸を発生する活性化合物、架橋剤、及び下式(I) (式中、R1及びR2は互いに独立に、炭素数1〜4のアルキルを表す) で示される2,6-ジアルキルピリジン化合物を含有し、該アルカリ可溶性樹脂が、重量平均分子量2,000以上のノボラック樹脂及び重量平均分子量900以下のノボラック樹脂オリゴマーを混合して得られる樹脂であることを特徴とする化学増幅ネガ型レジスト組成物。

IPC (2件)：