特許
J-GLOBAL ID：201103041092658696

感光材固定装置およびレーザビーム露光装置

発明者：
清水 修一

清水 修一 について


出願人/特許権者：
株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所 について


代理人 (1件)： 磯野 富彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-186675
公開番号（公開出願番号）：特開2002-006511
特許番号：特許第4456731号
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザビーム露光装置において、感光材を固定する感光材固定装置であって、 1辺の長さが少なくとも感光材の長辺よりも長く、前記感光材を主走査方向と直交する方向に長手方向が沿う第1の状態で表面に載置できるとともに、前記感光材を主走査方向と平行な方向に長手方向が沿う第2の状態で表面に載置できる描画テーブルと、 前記感光材が前記第1の状態または前記第2の状態で前記描画テーブルに載置された状態で、前記感光材の2辺に位置決めするように当て付けられる複数の位置決め手段と、 前記感光材を介して前記位置決め手段と対向する位置に配置され、対向する前記位置決め手段の方向へ前記描画テーブル表面と平行に前記感光材を付勢する複数の付勢手段と、 を備え、 前記付勢手段のうち、少なくとも、前記第1の状態または前記第2の状態で前記感光材を固定する際に前記感光材の固定の妨げとなる位置に配置されるものは、前記描画テーブルの表面以外の場所に配置されることを特徴とする感光材固定装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 529
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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