特許
J-GLOBAL ID：201103047295295023

板状物の加工方法

発明者：
近藤 広一

近藤 広一 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-211896
公開番号（公開出願番号）：特開2011-056576
出願日： 2009年09月14日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】 反りのある板状物の反りを解消可能な板状物の加工方法を提供することである。【解決手段】 複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成され、且つ反りを有する板状物の加工方法であって、板状物の反りを検出するステップと、検出した反り形状に応じて、板状物に対して透過性を有する波長のレーザビームを該分割予定ラインに沿って照射することで板状物の内部に改質層を局所的に形成し、板状物の反りを解消するステップと、を具備したことを特徴とする。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成され、且つ反りを有する板状物の加工方法であって、 板状物の反りを検出するステップと、 検出した反り形状に応じて、板状物に対して透過性を有する波長のレーザビームを該分割予定ラインに沿って照射することで板状物の内部に改質層を局所的に形成し、板状物の反りを解消するステップと、 を具備したことを特徴とする板状物の加工方法。
IPC (2件)：
B23K 26/40 ,  B23K 26/00
FI (2件)：
B23K26/40 ,  B23K26/00 M
Fターム (4件)：
4E068AE00 ,  4E068CA12 ,  4E068CC06 ,  4E068DA10
引用特許：
出願人引用 (9件)
全件表示
審査官引用 (1件)
  • ウエハの歪修正装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-238815   出願人：住友重機械工業株式会社

前のページに戻る

TOP

BOTTOM