イオン注入器用の加速および分析アーキテクチャー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀明▲ひこ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-552703
特許番号：特許第4521850号
出願日： 1999年05月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】イオンビーム発生器であって, イオンビームを発生するイオンビームソースと, 該イオンビームのイオンを所望のエネルギーに加速または減速するための加速/減速カラムと, 前記ビームソースと前記加速/減速カラムの間に位置し,第一の不所望種を前記イオンビームから除去するためのソースフィルターと, 前記加速/減速カラムの下流に位置し,第二の不所望種を前記イオンビームから除去するための質量分析計と, ソースエンクロージャーと, 含み, 前記イオンビームソースおよび前記ソースフィルターは,前記ソースエンクロージャー内に位置し,前記質量分析計は前記ソースフィルターよりも大きな偏向角で前記イオンビームのイオンを偏向し,前記質量分析計は前記ソースフィルターよりも高い分解能力をもつ,イオンビーム発生器。

IPC (2件)：