特許
J-GLOBAL ID：201103053676175970
収差測定方法、及び収差測定マーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
, 河井 将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373070
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189256
特許番号：特許第4309541号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下地基板に形成され、パターン幅の太い大パターンからなる第1のマーク部と、該大パターンよりもパターン幅の細い小パターンからなる第2のマーク部を有し、該大パターンと小パターンは少なくとも一の方向に互いに平行して近隣に配置されている収差測定マークを照明光学系を介して照明し、
前記収差測定マークの像を、拡大光学系を用いて検出器の受光面に投影し、
前記収差測定マークの前記大パターンと前記小パターンの位置を検出し、
前記大パターンと前記小パターンの位置に基づいて収差を測定し、
前記収差測定マークの前記大パターンと前記小パターンの少なくとも一方は、アライメントに用いられる光学系の分解能では観察できない複数の微細パターンにより構成され、該微細パターンが密集して前記大パターンあるいは前記小パターンとして機能することを特徴とする収差測定方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 9/00 ( 200 6.01)
H01L 21/30 525 R
, G03F 9/00 H
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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