特許
J-GLOBAL ID：200903027051530072

センサ装置

発明者：
福田 敏男

福田 敏男 について

, 
新井 史人

新井 史人 について

, 
元尾 幸平

元尾 幸平 について


出願人/特許権者：
国立大学法人名古屋大学

国立大学法人名古屋大学 について


代理人 (3件)： 小西 富雅 ,  中村 知公 ,  萩野 幹治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-371117
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171059
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】複数の圧電振動体素子を一部分に集積化した場合、1つの圧電振動素子の振動が他の圧電振動素子に伝達されないようにする。【解決手段】触覚センサ2の土台10上には、圧電振動素子12が集積化されている。圧電振動素子12は、土台10上に、導電性テープ22と導電性エポキシ接着剤を介して固定されている。導電性エポキシ接着剤24は、圧電振動素子12から土台10に伝達される振動を低減する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
駆動電圧印加部からの駆動電圧によって振動し、外部からの力に応じて振動状態が変化する振動体素子と、 前記振動体素子の振動に応じて発生する電圧を検出する検出回路部と、 前記振動体素子を支持する支持台を用いて、前記振動体素子を複数個備えてなるセンサ装置であって、 前記複数の振動体素子のうちの一の振動体素子から他の振動体素子に伝達される振動を低減する伝達振動低減手段を備えることを特徴とするセンサ装置。
IPC (4件)：
G01L 1/10 ,  G01L 5/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187
FI (5件)：
G01L1/10 A ,  G01L5/00 101Z ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D
Fターム (3件)：
2F051AA10 ,  2F051AB06 ,  2F051BA07
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (10件)
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