干渉計を搭載した投影露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079287
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277412
特許番号：特許第3796369号
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】露光光源からの露光光で第1物体を照明する照明系と、前記第1物体のパターンを第2物体上に投影する投影光学系と、前記露光光を利用して、前記投影光学系の光学特性を測定する干渉計と、を備え、前記照明系は、前記露光光をインコヒーレント化して前記第1物体に導くインコヒーレント手段と、前記露光光源と前記インコヒーレント手段との間に設けられる光路切換ミラーと、を有し、前記光路切換ミラーを用いて、前記露光光を前記干渉計に導くことを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：