特許
J-GLOBAL ID:201103078336879798

微分型電気移動度分級装置、粒子計測システム、及び粒子選別システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-021552
公開番号(公開出願番号):特開2011-158399
出願日: 2010年02月02日
公開日(公表日): 2011年08月18日
要約:
【課題】分級可能な荷電粒子の粒径の上限値を大きくすることが容易で、かつ粒径が変化しうる荷電粒子を分析可能な微分型電気移動度分級装置等を提供すること。【解決手段】DMA(微分型電気移動度分級装置)100は、それぞれ入口スリット102、スリット104、出口スリット106を有する入口電極103、中間電極105、及び出口電極107が、所定の間隔をおいて対向するように順次配置された分級槽101と、分級槽101にシースガスを供給するガス供給部と、対向する上記電極間に所定の電圧を印加する電圧源108・109と、を備え、分級槽101は、対向する上記電極間毎に形成される第1分級部10及び第2分級部20を有し、上記ガス供給部は、分級槽101に供給する上記シースガスの流量を第1分級部10及び第2分級部20で個別に制御する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
帯電した粒子を電気移動度に応じて分級する微分型電気移動度分級装置であって、 帯電した粒子が通過するスリットを有するn個(nは3以上の整数)の面状の電極が、所定の間隔をおいて対向するように順次配置された分級槽と、 上記分級槽にシースガスを供給するガス供給部と、 上記分級槽内の対向する上記電極間に所定の電圧を印加する電圧供給部と、を備え、 上記分級槽は、対向する上記電極間毎に形成される、帯電した粒子を分級する(n-1)段の分級部を有し、 上記ガス供給部は、上記分級槽に供給する上記シースガスの流量を上記分級部毎に制御することを特徴とする微分型電気移動度分級装置。
IPC (2件):
G01N 15/02 ,  G01N 15/06
FI (2件):
G01N15/02 F ,  G01N15/06 D
引用特許:
審査官引用 (11件)
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