像分解能評価用試料,荷電粒子線装置、および試料作成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-017595
公開番号（公開出願番号）：特開2011-158257
出願日： 2010年01月29日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：

【課題】本発明は、より理想的な荷電粒子線装置の分解能評価用の標準試料を提供することを目的とする。【解決手段】本発明では、荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板にコロイド金属又はイオン液体に分散した金属微粒子を滴下するステップと、前記基板に滴下した溶液を除去するステップと、を有することを特徴とする試料作成方法を提供する。また、荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板表面にスパッタにより金属微粒子を付着させるステップと、を有することを特徴とする試料作成方法を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子線装置の試料作成方法であって、基板表面に微細な凹凸を形成するステップと、前記基板にコロイド金属又はイオン液体に分散した金属微粒子を滴下するステップと、前記基板に滴下した溶液を除去するステップと、を有することを特徴とする試料作成方法。

IPC (4件)：

G01N 1/00 , H01J 37/20 , G01N 1/28 , G01N 23/225

FI (4件)：

G01N1/00 102B , H01J37/20 Z , G01N1/28 F , G01N23/225

Fターム (17件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001FA02 , 2G001GA12 , 2G001HA13 , 2G001KA20 , 2G001LA20 , 2G001MA04 , 2G001RA10 , 2G052AA39 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052GA33 , 5C001CC04

引用特許：

出願人引用 (10件)

金属ナノ粒子の固定化方法及び金属ナノ粒子固定化基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-433214 出願人：国立大学法人京都大学
超微粒子構造の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-303944 出願人：東京大学長
像評価方法及び顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-062817 出願人：株式会社日立製作所

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審査官引用 (4件)

金属ナノ粒子の固定化方法及び金属ナノ粒子固定化基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-433214 出願人：国立大学法人京都大学
超微粒子構造の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-303944 出願人：東京大学長
像評価方法及び顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-062817 出願人：株式会社日立製作所

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