特許
J-GLOBAL ID：201103081474971213

基板処理装置および基板搬送方法

発明者：
伊藤 浩一

伊藤 浩一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-186263
公開番号（公開出願番号）：特開2011-097023
出願日： 2010年08月23日
公開日（公表日）： 2011年05月12日
要約：
【課題】搬送レシピ設定を簡略化することができ、最適な搬送ルートで被処理基板を搬送することができる基板処理装置を提供すること。【解決手段】フープに対するウエハの搬入出を行う搬入出用搬送機構を有する搬入出部と、ウエハに対して所定の処理を行う複数の処理ユニットを有し、これら処理ユニットに対するウエハの搬送を行う主搬送機構を有する処理部と、搬入出部と処理部との間でウエハの受け渡しを行う複数の受け渡しユニットと、搬入出用搬送機構および主搬送機構によるウエハの搬送フローを制御する搬送フロー制御部と、搬入用および搬出用のフープの選択ならびに使用する処理ユニットの選択を行う選択部と、選択部で選択された搬入用および搬出用のフープならびに処理ユニットに応じて、使用する受け渡しユニットを自動的に選択し、ウエハの搬送ルートを自動的に生成する搬送レシピ作成部とを具備する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
被処理基板を収納する収納容器が載置される載置台を有する搬入出部と、 被処理基板に対して所定の処理を行う複数の処理ユニットを有する処理部と、 前記搬入出部と前記処理部との間で、被処理基板の受け渡しを行う複数の受け渡しユニットと、 被処理基板搬入用の収納容器および被処理基板搬出用の収納容器の選択、ならびに使用する基板を処理する処理ユニットの選択を受け付ける選択部と、 前記選択部で選択が受け付けられた被処理基板搬入用の収納容器および被処理基板搬出用の収納容器ならびに処理ユニットに応じて、複数の受け渡しユニットから使用する受け渡しユニットを自動的に選択し、被処理基板の搬送ルートを自動的に生成して搬送レシピを作成する搬送レシピ作成部と を具備することを特徴とする、基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/304 648A ,  H01L21/304 648G
Fターム (24件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA21 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02 ,  5F157AA16 ,  5F157AB45 ,  5F157AB51 ,  5F157AB64 ,  5F157BA02 ,  5F157CF44 ,  5F157CF98 ,  5F157DC41
引用特許：
出願人引用 (10件)
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