特許
J-GLOBAL ID：201103081947912970

レジスト剥離装置およびそれを用いたデバイスの製造方法

発明者：
登坂 久雄

登坂 久雄 について

, 
田中 良孝

田中 良孝 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 花輪 義男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-289988
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100555
特許番号：特許第3508712号
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レジスト剥離液を用いてレジストを剥離し、使用後のレジスト剥離液を回収して再使用するレジスト剥離装置において、レジスト剥離液に溶け込んだ二酸化炭素の濃度を検出するためのpH測定手段と、このpH測定手段による測定結果に基づいてレジスト剥離液にアミン溶液を補給するアミン溶液補給手段とを具備することを特徴とするレジスト剥離装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/304 648
FI (4件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/304 648 G ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/306 J
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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